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1、本產品采用氣相法制備石墨烯材料方式,采用微波熱等離子體技術,適合石墨烯原料制備工藝研究和小批量生產。 2、本產品等離子生長腔體采用潔凈石英管結構,避免生產過程中的雜質污染,確保產品品質。 3、本產品設計連續氣相生長功能,采用頂部4路進氣混氣,底部排料的結構。 4、本產品采用真空和微正壓系統設計,反應室與外界密封設計,適合微波等離子體狀態。 5、本產品設置真空管路和防爆泄壓結構,支持真空、氣氛和微正壓環境。 6、本產品采用微波等離子體技術 ,功率智能調節,工藝性更穩定。 7、本產品采用PLC程序控制,觸摸屏操作,工藝路線可實現自動化控制,工藝數據可讀取。
產品名稱
氣相石墨烯生長爐
型號
MCG-M10HBP
技術原理
微波等離子體(MPCVD)
設備形式
立式管道型,多路氣氛,高真空密封
進出料形式
進料:氣態/ 出料:固態
反應區尺寸
Φ200*500 mm
微波系統
微波功率10kW/2450MHz,系統水冷
產成品
石墨烯粉體,產量和特性依據具體工藝要求
監控視窗
垂直三個觀察窗
控制方式
PLC控制系統,彩色觸摸屏操作,多參數顯示
安全措施
產品氣體管路系統防爆設計
微波防護
微波泄漏量:<5mW/cm2 (國標)
設備外尺寸
900×900×1700mm(長×寬×高)
“Snowing” Graphene using Microwave Ovens